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LED激光刻劃的優(yōu)勢(shì)分析

作者: 來源: 日期:2017-6-9 13:49:22 人氣:78

相較于傳統(tǒng)的機(jī)械刻劃,激光刻劃LED的刻劃線條窄很多,所以使得材料利用率顯著提高,因此提高產(chǎn)出效率。另外激光加工是非接觸式工藝,刻劃導(dǎo)致晶圓微裂紋以及其他損傷更小,這就使得晶圓顆粒之間更緊密,產(chǎn)出效率高、產(chǎn)能高,同時(shí)成品LED器件的可靠性也大大提高。

       具體說來,激光加工是非接觸式加工,作為傳統(tǒng)機(jī)械鋸片切割的替代工藝,激光劃片切口非常小,聚焦后的激光微細(xì)光斑作用在晶圓表面,迅速氣化材料,在LED有源區(qū)之間制造非常細(xì)小的切口,從而能夠在有限面積的晶圓上切割出更多LED單體。其中激光刻劃對(duì)砷化鎵以及其他脆性化合物半導(dǎo)體晶圓材料尤為擅長(zhǎng),據(jù)了解,激光加工LED晶圓,典型的刻劃深度為襯底厚度的1/3到1/2,這樣分割就能夠得到非常干凈的斷裂面,制造窄而深的激光刻劃裂縫同時(shí)要保證高速的刻劃速度,與此同時(shí),這也就要求激光器具備窄脈寬、高光束質(zhì)量、高峰值功率、高重復(fù)頻率等優(yōu)良品質(zhì)。

         當(dāng)然并不是所有的激光均適合LED刻劃,其主要的原因在于晶圓材料對(duì)于可見光波長(zhǎng)激光的透射性問題。然而與傳統(tǒng)的刀片切割相比,激光刻劃使得晶圓微裂紋以及微裂紋擴(kuò)張大大減少, LED單體之間距離更近,激光刻劃,不但提高了產(chǎn)出效率,同時(shí)提高了加工速度,避免了刀片磨損帶來的加工缺陷與成本損耗,總之,激光加工精度高,加工容差大,成本低。



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